国度学问产权局信息表示，北京朔方华创微电子装备有限公司央求一项名为“磁场漫衍疗养安装及半导体工艺征战”的专利，公开号CN122202141A，央求日历为2024年12月。
专利提要表示，本发明提供一种磁场漫衍疗养安装及半导体工艺征战，磁场漫衍疗养安装包括周向疗养组件、多个径向疗养组件以及多个线圈。周向疗养组件包括第一合作结构，第一合作结构具有环形轨说念。径向疗养组件的一端包括与多个线圈逐个双应缔造的径向动作件，每个径向动作件受第一运编削构的运转，以使对应的线圈沿环形轨说念的径向迁徙。径向疗养组件另一端设有第二合作结构，第二合作结构与第一合作结构的环形轨说念适配，每个第二合作结构受第二运编削构的运转，沿环形轨说念知晓，以使线圈沿环形轨说念的周向迁徙。本发明的磁场漫衍疗养安装简略已毕晶圆名义等离子体的分区调控，尊龙凯时官方网站以晋升级离子体漫衍的均匀性以及径向的标的性。
天眼查贵府表示，北京朔方华创微电子装备有限公司，建造于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册成本114153.708311万东说念主民币。通过天眼查大数据分析，北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标名堂1429次，财产踪迹方面有商标信息73条，专利信息5846条，此外企业还领有行政许可340个。
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